Markgildi hlutfallslegs raka í hálfleiðara (FAB) hreinu herbergi

Markgildi hlutfallslegs raka í hreinu herbergi með hálfleiðurum (FAB) er um það bil 30 til 50%, sem leyfir þröngt skekkjumörk upp á ±1%, eins og á steinþrykkjasvæðinu - eða jafnvel minna í útfjólubláu vinnslunni (DUV) svæði – en annars staðar er hægt að slaka á því í ±5%.
Vegna þess að hlutfallslegur raki hefur ýmsa þætti sem geta dregið úr heildarafköstum hreinna herbergja, þar á meðal:
1. Bakteríuvöxtur;
2. Þægindasvið stofuhita fyrir starfsfólk;
3. Rafstöðuhleðsla birtist;
4. Málmtæring;
5. Vatnsgufuþétting;
6. Niðurbrot steinþrykks;
7. Vatnsupptaka.

Bakteríur og önnur líffræðileg aðskotaefni (myglusveppur, veirur, sveppir, maurar) geta þrifist í umhverfi þar sem rakastig er meira en 60%.Sum bakteríusamfélög geta vaxið við hlutfallslegan raka sem er meira en 30%.Fyrirtækið telur að rakastig ætti að vera stjórnað á bilinu 40% til 60%, sem getur lágmarkað áhrif baktería og öndunarfærasýkinga.

Hlutfallslegur raki á bilinu 40% til 60% er einnig hóflegt svið fyrir þægindi manna.Of mikill raki getur valdið því að fólk er stíflað, en raki undir 30% getur valdið þurru, sprunginni húð, óþægindum í öndunarfærum og tilfinningalegri óhamingju.

Mikill raki dregur í raun úr uppsöfnun rafstöðuhleðslna á yfirborði hreinsherbergisins - æskilegur árangur.Lágur raki er tilvalinn fyrir hleðslusöfnun og hugsanlega skaðleg uppspretta rafstöðuafhleðslu.Þegar rakastig fer yfir 50% byrja rafstöðuhleðslur að dreifa hratt, en þegar hlutfallslegur raki er undir 30% geta þær varað lengi á einangrunartæki eða ójarðuðu yfirborði.

Hlutfallslegur raki á milli 35% og 40% er hægt að nota sem fullnægjandi málamiðlun og hálfleiðara hrein herbergi nota almennt viðbótarstýringar til að takmarka uppsöfnun rafstöðuhleðslna.

Hraði margra efnahvarfa, þar á meðal tæringarferla, mun aukast með aukningu á rakastigi.Allir fletir sem verða fyrir lofti í kringum hreina herbergið eru fljótir.