Raftækjaframleiðsla hrein herbergi eru fyrst og fremst notuð til framleiðslu á hálfleiðurum, LCD skjáum, prentuðum hringrásum og öðrum rafeindahlutum.Þessi aðstaða samanstendur venjulega af hreinum framleiðslusvæðum, aukahreinum svæðum, stjórnsýslusvæðum og tækjasvæðum.Hreinlætisstig rafrænna hreinherbergja hefur bein áhrif á gæði rafrænna vara.Til að viðhalda ákveðnu stigi lofthreinleika og tryggja stöðugt innihitastig og hlutfallslegan raka í stýrðu umhverfi eru loftveitukerfi og viftusíueiningar (FFU) notuð,
